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一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计

作者:时间:2011-12-23来源:网络收藏

设压控振荡器的输出为Vppcosθ,静电驱动力为Fdcosθ,位移x=acos(θ+φ),则
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采用平均方法对式(11)进行化解,由于θ的变化速度要远远>φ和VLF的变化速度,根据平均方法,sin(2θ+2φ)、cos(2θ+2φ)、cos(2θ+φ)均为0,则式(11)可化解为
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对于式(12)和式(13)组成的一阶微分方程组,可以通过劳斯判据判定其稳定性,其稳态下的Jacobian矩阵为
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