确保更精确的高电阻测量

       高电阻测量已成为多种测试应用的组成部分，包括印制电路板的表面电阻（SIR）测试、绝缘材料和半导体的电阻率测量、高欧姆值电阻的电压系数测试等。确保高电阻测量（即高于1GΩ [10P9P欧姆]的电阻）的精度需要使用大量的特殊技术和仪器，例如静电计、源测量单元（SMU）、或皮可安培计/电压源组合。静电计可以采用恒压或恒流的方法测量高电阻。

恒压方法

       采用恒压方法测量高电阻需要能够精确测量低电流的仪器和一个恒定的直流电压源。某些静电计和皮可安培计提供了内置电压源，能够自动计算出未知的电阻。图1给出了利用静电计或皮可安培计（图1a）或SMU的恒压方法的两种基本配置。在这种方法中，一个恒压源（V）与未知电阻（R）和安培计（IBMB）串联在一起。由于安培计上的电压降可以忽略不计，因此所有的测试电压都加载在R上。产生的电流由安培计测出，电阻可以根据欧姆定律计算出来（R= V/I）。

       由于高电阻通常是所施加电压的函数，恒压方法一般比恒流方法更有优势。通过在选定电压下进行测试，可以得到电阻与电压的关系曲线，从而测出电阻的电压系数。例如，6517B型静电计（如图2所示）可以利用恒压方法测量电阻，由于电压系数的作用它适合于测量极高的电阻。

       恒压方法需要精确测量低电流，因此必须考虑与低电流测量相关的误差源。其中包括不正确屏蔽的安培计连接，与安培计电压负荷和输入偏移电流相关的问题，以及待测器件的源电阻。外部误差源包括线缆和夹具的漏电流，以及由于静电或压电效应产生的电流。

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