MEMS传感器市场面临空前机遇

　　医疗保健被称为MEMS的第三波应用，同时也被MEMS行业称为高价值市场。随着人口老龄化和医疗保健费用的提升，各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入。VTI是医疗保健MEMS技术的领先供应商，每分钟全球就有一台带有VTI传感器的起搏器安装在患者的体内;该公司期望与更多的系统厂家合作采用其MEMS传感器研发出多样化的医疗保健设备。

　　技术进步推高市场对MEMS传感器的需求

　　技术进步也是MEMS行业发展的一个重要推动力，特别是MEMS与数字芯片在同一封装内的片上集成，给MEMS市场振兴带来了巨大的支持。在2007年推出了MEMS搭载芯片技术(Chip-on-MEMS，CoM)后，VTI也获得了巨大的发展，各种新的应用解决方案脱颖而出。

　　不久前，该公司推出并在近期量产的CMR3000 3轴陀螺仪就是这种MEMS片上系统，不仅其芯片级的封装使其体积仅为3.1x4.2x0.8 mm3，而且提供了SPI或者I2C数字输出，同时实现了仅为5mA的业界最低功耗，而测量精度高达+/- 2000 dps。该器件专为游戏机、遥控器等人机界面和手机等优化，目前已有客户将该器件与8051结合设计出高精度投影光标遥控器。

　　用于时钟发生的MEMS振荡器也是当前MEMS应用的一个热点，随着便携电子设备对时钟发生解决方案在体积和精度上的要求越来越高，采用MEMS来替代石英晶体振荡器的呼声也越来越大。市场调研公司Yole的分析表明：MEMS振荡器的全球市场将从2009年的8百万美元快速增长到2015年的6.45亿美元。

　　VTI在近期也宣布了进入MEMS振荡器市场，该公司采用逆向思维设计出了芯片搭载MEMS的结构(MEMS-on-Chip，MoC)和芯片级的封装，实现了小型化、高精度的时钟解决方案。其技术诀窍是用数字电路来补偿稳定变化，以保证振荡器产生的频率稳定在目标频率上。VTI的时钟产品将于近期推出，采用8英寸晶圆生产从而使该器件的成本大为降低。

　　ESP(ESC)将再次推动MEMS传感器在汽车电子中的应用

　　MEMS在汽车电子中的应用极为广泛，其应用方向和市场需求包括车辆的防抱死系统(ABS)、电子车身稳定程序(ESP)、电控悬挂(ECS)、电动手刹(EPB)、斜坡起动辅助(HAS)、胎压监控(EPMS)、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。其中电子车身稳定程序ESP是许多MEMS厂商高度关注的新应用，由于其主动防滑功能要求更多的传感器和先进的处理系统，因此将使汽车电子这一MEMS传统应用市场再放光芒。

　　ESP的全称是Electronic Stability Program，它是当前汽车防滑的最先进手段。ESP包含ABS及ASR，是这两种系统功能上的延伸，它能够探测和分析车况并纠正驾驶的错误。ESP对过度转向或不足转向特别敏感，例如汽车在路滑时左拐过度转向(转弯太急)时会产生向右侧甩尾，传感器感觉到滑动就会迅速制动右前轮使其恢复附着力，产生一种相反的转矩而使汽车保持在原来的车道上。

　　从电子系统来看，ESP由控制单元及转向传感器(监测方向盘的转向角度)、车轮传感器(监测各个车轮的速度转动)、侧滑传感器(监测车体绕垂直轴线转动的状态)、横向加速度传感器(监测汽车转弯时的离心力)等组成。控制单元通过这些传感器的信号对车辆的运行状态进行判断，进而发出控制指令。

　　作为一种带有主动安全措施的全新道路安全技术，全球许多国家和地区开始立法强制安装带有ESP的电子车身稳定系统(ESC)，其中美国和加拿大将从今年9月起要求所有新生产的轻型车辆安装ESC，欧盟和澳大利亚则要求从今年11月起所有的新型号需安装ESC，韩国和日本则分别要求从明年1月和10月起所有新型号需带有ESC。

　　“从全球立法的速度来分析，到2015年全球生产的轻型车辆一半以上将带有ESC;与此同时电子装备集成和传感器融合将进一步拉低ESC系统的成本，在今后3年内基于硅的陀螺仪将成为主动或被动安全系统的主流技术。”VTI交通业务副总裁Hannu Laatikainen说。“包括中国在内的‘金砖四国’拥有全球发展最快的汽车产业，我们希望与他们的汽车电子厂家合作共同推进汽车安全技术。”