Veeco发表用于生产高亮度 LED的MaxBright GaN MOCVD

　　日前，Veeco发表一款新型MOCVD产品：TurboDisc MaxBright?氮化镓(GaN)有机金属化学气相沉积法(MOCVD)多反应器系统，用于生产高亮度 LED。

　　Veeco介绍，MaxBright利用Veeco的FlowFlange ?集群架构自动化技术在一个模块化的两个或四个反应器通过组合高通量金属有机化学气相沉积反应器。

　　该MaxBright反应堆，在K465i的基础上经过生产验证，既扩大了晶圆的生产能力和，同时保证了均匀性、重复性和材料的质量。MaxBright MOCVD系统可提供生产能力达216 × 2”，56 × 4”，24 × 6”或12 × 8”晶圆。此外，无缝转移MaxBright能使客户实现快速生产。